仪器技术参数 | 技术参数：
1.分辨率：
二次电子:
高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
环境真空模式 1.4nm @ 30kV
背散射电子:
高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
扫描透射STEM探测器:
1.0.8nm @ 30kV
2.加速电压 200V ～ 30kV, 连续可调
3.高稳定性Schottky场发射电子枪
4.最大束流 200nA
5.样品室压力最高达4000Pa
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