1) 180ο半球能量分析器
2) 能量范围：0～5,000eV
3) 单色Al Ka (hv =1486.6 eV)，功率150W ；结合能以C1s 284.8校准
4) X射线束斑面积从900μm到200μm连续可调
5) 大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.50eV）强度≥400kcps；20µm束斑 ：Ag3d5/2（FWHM＝0.45eV）强度≥0.5kcps；
6) Mg/Al双阳极XPS
7) 大束斑：Ag3d5/2（FWHM＝0.8eV）强度大于650kcps
8) 快速平行成像
9) 对Ag3d5/2线扫描的最佳空间分辨率优于3 μm |